结构特点：

• 适用于高纯应用
• FSR，NPT，GENLOK 连接
• 内部无弹簧设计
• 膜片式硬密封，可降低泄漏率
• 经氦气测试

功能特性：

• 流量：Cv 0.17
• 母体泄漏率：1x10^-9 atm cc/sec He
• 阀座泄漏率：4x10^-9 atm cc/sec He
• 设计验证：最大工作压力的 150%
• 设计爆破：最大工作压力的 400%

表面加工： 

• 标准 20 μin

工作条件 

• 最大工作压力：300 psi ( 20 bar)
• 最小工作压力：真空
• 温度： -40°C~65°C (40°F~150°F)

气动执行器： 

• 操作压力：70~125 psi
• 入口连接：1/8” NPT(F)
• 工作状态：常闭、常开

材质： 

• 母体：316L
• 阀座：PCTFE
• 膜片：Elgiloy^®