特点 Features

• 适用于超高纯应用环境

• 旋钮带开关指示窗口，实现开关可视化

• 呆滞容积小于 3.0 cc

• 特殊流道设计，有效减少颗粒

• 100% 氦气测试

• 开关寿命一百万次以上

• 母体：316L

• 阀座：PCTFE, Vespel®

• 隔膜：Elgiloy®

材质 Materials

• 母体：316L

• 阀座：PCTFE, Vespel®

• 隔膜：Elgiloy®

功能特性 Specifications

• 流量： Cv=0.65

• 最大母体泄漏率：1X10-9atm cc/sec He

• 最大阀座泄漏率：4X10-9atm cc/sec He

工作条件 Operating Conditions

• 最大工作压力(手动)：300 psi (2.1 MPa)

• 最大工作压力(气动)：150 psi (1.0 MPa)

• 最小工作压力：真空

• 温度：-40oC~65oC （40oF~150oF）

气动执行器 Actuator Specifications

• 驱动压力：60~85 psi (0.4~0.6 MPa)

• 入口连接：M5 (F)

• 工作状态：常闭

表面加工 Surface Finish

• 标准 Ra ( EP )：0.15μm