结构特点：

• 适用于高洁净场合
• 阀门接口形式有： FSR 接头，对焊管接头
• 阀门前后均可增加吹扫接口，方便管路清洁处理
• 内部无弹簧，减少污染，使气体更洁净
• 清洁符合 ASTM G93C 标准，依 CGA G-4.1 脱脂处理
• 膜片式硬密封
• 经氦气测试

结构材料：

• 母体： 316L 不锈钢
• 阀座： PCTFE
• 膜片： Elgiloy^®

工作条件：

• 最大工作压力： 300 psi ( 20.7 bar)
• 最小工作压力：真空
• 工作温度： -40°C ~ 65°C  ( -40°F ~ 150°F )

功能特性：

• 流量：Cv=2.8
•  母体泄漏率：1x10^-9 atm cc/sec He
• 阀座泄漏率：4x10^-9 atm cc/sec He
•  设计验证：最大工作压力的 150%
•  设计爆破：最大工作压力的 400%

流道表面：

• 标准Ra (Ep)：7 μin