特点

• 有手动操作和气动控制两种形式

• 在符合超高纯标准的洁净厂房内生产制造，百级洁净室装配

• 100% 高压气密氦检

• 带提升的隔膜结构，保证阀完全开启

• 流道过渡圆滑，符合 SEMI 标准要求

• 多种进出气连接标准及规格（CGA, JIS, ISO, GB 等）

• 气动控制带手动保险锁

• 出口吊链式保护帽

• 密封垫集成于隔膜端，便于维修

• 外部双重密封保护

技术说明

• 工作压力： 3335 psi (23 MPa)

• 最小通径： 4mm

• 工作温度：-40°C ~ 60°C (-40°F ~ 140°F)

• 阀体泄漏率：≤1x10^-9 mbar l/s (276 bar He)

• 阀座泄漏率：≤1x10^-8 mbar l/s (276 bar He)

• Cv 值：0.3

结构材料

• 阀体：316L, 316L VAR

• 阀座：Vespel®, PCTFE

• 膜片：Elgiloy®

气动控制说明

• 常闭式阀，气动开启

• 驱动气源：73 ~ 116 psi (0.5 ~ 0.8 MPa)

• 驱动介质：空气或氮气

• 驱动气口：G1/8

• 壳体材料：高强度铝合金